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弗萊貝格X-ray Diffractometer
使用X 射線衍射儀XRD 進(jìn)行晶圓棒，晶圓片及晶錠的生產(chǎn)質(zhì)量控制
晶棒定向 | 晶圓片分析| 石英片 分選
定向：
AT | SC | IT | TF | X | Y | Z
弗萊貝格X-ray Diffractometer
Quartz XRD的特點(diǎn)：
檢測(cè)速度: 2 s (AT quartz)
高精度: ≤ 10 arcsec 標(biāo)準(zhǔn)偏差
空間分辨率： 1 mm ± 0.1 mm
› 測(cè)定相對(duì)于樣品的取向傾角
› 自動(dòng)顯示角度分量(Theta & Phi) ，包括標(biāo)準(zhǔn)偏差
德國工藝: 穩(wěn)健及模塊化設(shè)計(jì)
› 軟件: 易于使用的軟件套件與多個(gè)用戶級(jí)別。自動(dòng)顯示、記錄和報(bào)告測(cè)量數(shù)據(jù)
› 自動(dòng)化: 定制不同規(guī)格的晶圓片或blank的樣品處理系統(tǒng)，包括機(jī)器人，取放，振動(dòng)分揀機(jī)
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